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【请教】表面膜的评价方法
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我做的表面膜比较薄，通过XRD分析的只能看到基体，用划痕仪是一条直线， 这样的话我的表面膜的结合力性能就分析不出来，不知道膜的好坏，请问还有什么方法可以测表面膜的性质？ 想分析膜的致密度，结合力大小，均匀不均匀（做SEM表面看起来很均匀，好像所有的膜都看起来一样）。 先谢谢了！ |
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dingyanhuai
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