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呼啦啦1207

新虫 (小有名气)

[求助] 旋涂问题,求助~~~~ 已有1人参与

请问在叉指电极上旋涂敏感材料,怎么旋涂法?和旋涂胶一样吗?  怎么避免不旋涂到pad上啊

@神魔流转 @yswyx 发自小木虫Android客户端
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

2楼2020-09-30 08:37:44
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呼啦啦1207

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2020-09-30 08:37:44
怎么都避免不了吧(╥ω╥`)

那你们怎么弄?

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3楼2020-09-30 12:22:25
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

后面光刻对准,显影把pad图形漏出来

发自小木虫Android客户端
4楼2020-09-30 13:23:40
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呼啦啦1207

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2020-09-30 13:23:40
后面光刻对准,显影把pad图形漏出来

你们是先旋涂材料,再光刻显影?

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5楼2020-09-30 13:34:45
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以参考lift off 工艺,但是需要确认你的敏感材料是否耐溶剂。
或者使用shadow mask,这个需要你能做对准,如果精度要求不高,可以手工对准。
6楼2020-09-30 16:11:24
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 呼啦啦1207 at 2020-09-30 13:34:45
你们是先旋涂材料,再光刻显影?
...

做2个mask,后一层主要显影出pad

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7楼2020-09-30 17:16:09
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呼啦啦1207

新虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2020-09-30 17:16:09
做2个mask,后一层主要显影出pad
...

问一下,你们旋涂敏感材料,一般从多少浓度开始啊?

发自小木虫Android客户端
8楼2020-12-22 15:41:55
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