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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 微米和纳米 » yswyx » 旋涂问题，求助~~~~
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呼啦啦1207

新虫 (小有名气)

[求助] 旋涂问题，求助~~~~ 已有1人参与

请问在叉指电极上旋涂敏感材料，怎么旋涂法?和旋涂胶一样吗？  怎么避免不旋涂到pad上啊

@神魔流转 @yswyx 发自小木虫Android客户端
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1楼 2020-09-30 08:29:08
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
怎么都避免不了吧(╥ω╥`)

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2楼2020-09-30 08:37:44
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呼啦啦1207

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2020-09-30 08:37:44
怎么都避免不了吧(╥ω╥`)

那你们怎么弄?

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3楼2020-09-30 12:22:25
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
后面光刻对准，显影把pad图形漏出来

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4楼2020-09-30 13:23:40
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呼啦啦1207

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2020-09-30 13:23:40
后面光刻对准，显影把pad图形漏出来

你们是先旋涂材料，再光刻显影?

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5楼2020-09-30 13:34:45
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以参考lift off 工艺，但是需要确认你的敏感材料是否耐溶剂。
或者使用shadow mask，这个需要你能做对准，如果精度要求不高，可以手工对准。
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6楼2020-09-30 16:11:24
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 呼啦啦1207 at 2020-09-30 13:34:45
你们是先旋涂材料，再光刻显影?
...

做2个mask，后一层主要显影出pad

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7楼2020-09-30 17:16:09
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呼啦啦1207

新虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2020-09-30 17:16:09
做2个mask，后一层主要显影出pad
...

问一下，你们旋涂敏感材料，一般从多少浓度开始啊?

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8楼2020-12-22 15:41:55
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