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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 精细化工 » 其他 » DLC镀层退镀
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木心本真

新虫 (正式写手)

[求助] DLC镀层退镀 已有1人参与

硅片上有DLC镀层，怎么去除，可加热。目前酸体系中加氟化氢铵有一点效果，很少一部分镀层可以退掉。
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1楼 2020-09-21 14:40:32
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木心本真

新虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by liming0430 at 2020-09-23 11:48:14
高效的退镀液没见过，前景国际倒是号称有一款可以退，但效果也很一般，其原理就是通过抽底，本来就是非晶涂层，几乎没什么微孔，想通过抽底的方法确实有点难……

最近在做这个，常规退镀方法都不行，已经放弃了
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3楼2020-10-07 16:56:18
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liming0430

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
高效的退镀液没见过，前景国际倒是号称有一款可以退，但效果也很一般，其原理就是通过抽底，本来就是非晶涂层，几乎没什么微孔，想通过抽底的方法确实有点难……
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木心本真
共同富裕
2楼2020-09-23 11:48:14
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