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【求助】问一个很愚笨的问题,这种情况有必要做合金化嘛?
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做简单的MIS结构,作完表面电极和背电极后要做合金化嘛?金属是铝,方法是EBeam,衬底是Si wafer,insulator是SiN。 谢谢。 |
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