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铜虫 (小有名气)

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[交流] 请问哪里可以做硅片上的打孔？已有7人参与

在硅片上打孔，贯穿孔，厚度在2mm以内，孔的尺寸在20微米至500微米之间。谢谢大家

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1楼 2020-08-31 09:43:47

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yswyx

专家顾问 (著名写手)

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2mm的硅片在研材微纳常年有备货，这个不算最厚的。
但是这么小的孔，无论是用激光还是干法刻蚀，都很难做到100um以下。

9楼2020-09-02 12:43:11

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czcdxmc

木虫 (正式写手)

MEMS小学生

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专业: 半导体微纳机电器件与系统

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硅片够厚的啊

发自小木虫Android客户端

学海无涯，回头是岸。

2楼2020-08-31 11:49:58

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babyoflion

金虫 (著名写手)

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这个硅片在哪搞的啊怎么这么厚啊

3楼2020-08-31 12:25:09

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youliao115

禁虫 (小有名气)

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4楼2020-08-31 15:15:22

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