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汕头大学海洋科学接受调剂
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铜虫 (小有名气)

[交流] 请问哪里可以做硅片上的打孔? 已有7人参与

在硅片上打孔,贯穿孔,厚度在2mm以内,孔的尺寸在20微米至500微米之间。谢谢大家
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
2mm的硅片在研材微纳常年有备货,这个不算最厚的。
但是这么小的孔,无论是用激光还是干法刻蚀,都很难做到100um以下。
9楼2020-09-02 12:43:11
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czcdxmc

木虫 (正式写手)

MEMS小学生


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
硅片够厚的啊

发自小木虫Android客户端
学海无涯,回头是岸。
2楼2020-08-31 11:49:58
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babyoflion

金虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个硅片在哪搞的啊 怎么这么厚啊
3楼2020-08-31 12:25:09
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youliao115

禁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本帖内容被屏蔽

4楼2020-08-31 15:15:22
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