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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】如何在硅薄膜上镀制电极测试薄膜的电导率？
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worry

[交流] 【求助】如何在硅薄膜上镀制电极测试薄膜的电导率？

我是在单晶硅和普通玻璃片上镀制的硅薄膜，希望能够测试薄膜的电导率，看文献上有说可以采取在薄膜上镀制铝电极的方法进行测试，想具体问下怎么操作，谢谢。

另外，我用过四探针法测过，，没有测出来，估计是量程达不到。
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1楼 2009-07-17 17:33:25
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solgeltech

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
硅薄膜？  
四探针法测的是电阻率 一般是比较小的 才能测出来
比如说我们的镍酸镧电极 电阻率5*10-4到10-3欧姆每厘米
你做的薄膜应该电阻率很高很高吧 呵呵
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镍酸镧氧化物 铁电薄膜溶液 铁酸铋 http://yuantek.admindiy.cn ｗｗｗ.ｙｕａｎｔｅｋｓｏｌｇｅｌ.ｃｏｍ
2楼2009-07-17 21:06:10
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sun-boymlh

铜虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
电阻率是用四探针法测的（比较小的），一般用铟做电极叫点铟之后退火欧姆接触。也可以用银，电导率更好。
至于铝电极，应该是有掩膜板掩膜蒸镀
个人意见
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http://d.namipan.com/d/Ashcroft,%20Neil%20W,%20Mermin,%20David%20N%20-%20Solid%20State%20Physics(T).djvu/f0504e0c934fa43e8b69e21671ca15dab32ef84964 .
3楼2009-07-17 21:42:06
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worry

re如何在硅薄膜上镀制电极测试薄膜的电导率？

对 电阻率应该很低，所以测不出来。
就是想找方法测试，做电极应该可以 但是不知道怎么做？
如果有谁知道，希望不吝赐教啊 感激不尽啊
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4楼2009-07-17 22:19:51
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tmxkl

木虫 (正式写手)
我读研的时候一般是用真空蒸镀，一面全部镀上一层金，另一面镀上金点，当时测试的是I-V曲线，就是不知道楼主用这样的方法行不行？
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5楼2009-07-17 22:31:36
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