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【求助】如何在硅薄膜上镀制电极测试薄膜的电导率？
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我是在单晶硅和普通玻璃片上镀制的硅薄膜，希望能够测试薄膜的电导率，看文献上有说可以采取在薄膜上镀制铝电极的方法进行测试，想具体问下怎么操作，谢谢。 另外，我用过四探针法测过，，没有测出来，估计是量程达不到。 |
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