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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 求助 磁控溅射设备关机 是先关高阀还是先关分子泵
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H-Reed

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助 磁控溅射设备关机 是先关高阀还是先关分子泵

纠结这个问题主要是 最早买回来设备的时候 师傅说先关高阀再关分子泵 结果昨天让师傅来检查设备的时候 师傅又说要先关分子泵再关高阀 所以现在很纠结 想知道大家是怎么操作的。。。

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1楼 2020-07-25 14:58:11
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