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磁控溅射原位生长 垂直晶粒 已有1人参与
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采用射频磁控溅射的方法生长薄膜,拍的sem图如下。 我们生长过很多批的样品只有这一个出现了垂直的晶粒。 目前我看的文献中没有介绍过这种材料的这种形貌,请问其它的材料有这种形貌么?能不能以这个为创新点发一篇文章呢? 发自小木虫Android客户端 |
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gxytju2008
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