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ll-kkhg

新虫 (初入文坛)

[求助] XPS离子刻蚀条件

求助,XPS测试时,想知道某两种元素随深度变化导致的结合能的变化,这个离子刻蚀的条件该怎么定呢,材料是g-c3n4纳米片

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b3958012

铜虫 (职业作家)


我们每次可以刻蚀100nm,最大刻蚀500nm

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2楼2020-07-09 18:42:55
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Planktoncc

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by b3958012 at 2020-07-09 18:42:55
我们每次可以刻蚀100nm,最大刻蚀500nm

刻蚀的试样表面需要怎么处理?要达到多高的平整度?
3楼2020-07-19 14:58:47
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