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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 磁控溅射合金靶材不起辉
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kyxioabai

新虫 (著名写手)
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磁控溅射合金靶材不起辉
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使用直流磁控溅射，靶材为合金靶材，打开直流控制电源，只有电流没有电压，请问是什么原因呢

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1楼2020-07-04 19:22:25
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kyxioabai

新虫 (著名写手)
引用回帖:
30楼: Originally posted by hbsfit at 2020-07-06 13:36:09
可能是靶的阳极罩短路，或者是靶材不易起辉，适当提高工作气压，起辉后再降回去。不行改用射频

罩子离得太近短路了

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31楼2020-07-06 23:22:40
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tzynew2楼
2020-07-04 19:23   回复  
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183261577693楼
2020-07-04 19:38   回复  
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emmetchen4楼
2020-07-04 19:44   回复  
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DF115楼
2020-07-04 19:47   回复  
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云在青天6楼
2020-07-04 19:48   回复  
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6804167楼
2020-07-04 19:58   回复  
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felgsy8楼
2020-07-04 20:10   回复  
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星星女孩9楼
2020-07-04 20:13   回复  
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wugong10楼
2020-07-04 20:28   回复  
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XULEI_12211楼
2020-07-04 20:58   回复  
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zhaoyan197812楼
2020-07-04 21:38   回复  
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斓曦201913楼
2020-07-04 21:47   回复  
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weimu101214楼
2020-07-05 00:09   回复  
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