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为什么反外延工艺的应用范围不如正外延工艺？
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常规的外延工艺是正外延工艺（在重掺杂材料上外延轻掺杂材料），在PIN管制作中，一般I区是在重掺杂N区上外延行成，那为什么P+区的形成都是靠扩散，能不能采用反外延工艺呢？ 先谢过各位同学 |
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