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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 为什么反外延工艺的应用范围不如正外延工艺？
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自信与坚强

新虫 (初入文坛)

[求助] 为什么反外延工艺的应用范围不如正外延工艺？

常规的外延工艺是正外延工艺（在重掺杂材料上外延轻掺杂材料），在PIN管制作中，一般I区是在重掺杂N区上外延行成，那为什么P+区的形成都是靠扩散，能不能采用反外延工艺呢？
先谢过各位同学
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1楼 2020-06-26 23:52:09
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