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为什么反外延工艺的应用范围不如正外延工艺?
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常规的外延工艺是正外延工艺(在重掺杂材料上外延轻掺杂材料),在PIN管制作中,一般I区是在重掺杂N区上外延行成,那为什么P+区的形成都是靠扩散,能不能采用反外延工艺呢? 先谢过各位同学 |
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