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yi907

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[交流] SEM几大要素

同学们敲黑板!影响扫描电镜SEM几大要素
一.?分辨率? ?
? 影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有:A. 入射电子束束斑直径;B. 入射电子束在样品中的扩展效应;C. 成像方式及所用的调制信号
二、放大倍数? ? ?
?扫描电镜的放大倍数可表示为M =Ac/As式中,Ac—荧光屏上图像的边长;As—电子束在样品上的扫描振幅。一般地,Ac 是固定的(通常为100 mm),则可通过改变As 来改变放大倍数。? ? ? ?目前,大多数商品扫描电镜放大倍数为20~20,000倍,介于光学显微镜和透射电镜之间,即扫描电镜弥补了光学显微镜和透射电镜放大倍数的空挡。
三、景深? ? ?
? 扫描电子显微镜的景深比透射电子显微镜大10倍,比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大,所得扫描电子像富有立体感。四、衬度衬度包括:表面形貌衬度和原子序数衬度。表面形貌衬度由试样表面的不平整性引起。

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