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qulun

新虫 (初入文坛)

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专业: 光学

[交流] 铝蒸镀相关已有1人参与

在石英玻璃上蒸镀一层Al膜，可以通过退火形成Al纳米颗粒吗？大概需要什么温度，另外还有什么注意事项？

发自小木虫IOS客户端

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1楼 2020-06-16 01:27:40

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

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性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统
管辖: 微米和纳米

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

铝的没做过，做过Pt的，不过形成的不是纳米颗粒，形成的都是微米级的多晶材料，温度要一千多度。结晶的时候，会形成很多孔洞。
我的理解，很难形成纳米颗粒，应该和Pt类似。另外，应该注意气氛的选择，毕竟铝要活泼的多。

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