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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 多弧离子镀设备出现问题，偏压在起弧的时候加不上去
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xnjd-wlj

银虫 (小有名气)

[求助] 多弧离子镀设备出现问题，偏压在起弧的时候加不上去

偏压在不起弧的时候是可以加到800V的，但是在起弧状态下，不管AEGD还是镀膜，偏压都加不上去，同时有一个靶材刚开始起弧很稳定，时间稍长一点就开始频繁起弧断弧，有没有高手解答一下
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1楼 2020-06-12 10:31:14
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