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多弧离子镀设备出现问题,偏压在起弧的时候加不上去
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| 偏压在不起弧的时候是可以加到800V的,但是在起弧状态下,不管AEGD还是镀膜,偏压都加不上去,同时有一个靶材刚开始起弧很稳定,时间稍长一点就开始频繁起弧断弧,有没有高手解答一下 |
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