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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » P3HT有机半导体的器件的加工
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彩虹之约123

新虫 (正式写手)

[求助] P3HT有机半导体的器件的加工 已有1人参与

P3HT这种有机半导体的器件，我想光刻后lift off。lift off 必须用丙酮， P3HT不耐丙酮。如何保证既lift off，又不破坏P3HT.
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1楼 2020-06-02 10:44:31
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648582818

版主 (著名写手)

【答案】应助回帖

一层perylene,中间加一层牺牲层（可溶于水的），再来一层perylene，然后光刻pattern，ICP刻蚀打穿，做有机膜，在水溶液中剥离

或者其他你能搞得定的物理剥离方法也行
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2楼2020-06-07 19:33:19
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