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彩虹之约123

新虫 (正式写手)

[求助] P3HT有机半导体的器件的加工 已有1人参与

P3HT这种有机半导体的器件,我想光刻后lift off。lift off 必须用丙酮, P3HT不耐丙酮。如何保证既lift off,又不破坏P3HT.
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版主 (著名写手)

【答案】应助回帖

一层perylene,中间加一层牺牲层(可溶于水的),再来一层perylene,然后光刻pattern,ICP刻蚀打穿,做有机膜,在水溶液中剥离

或者其他你能搞得定的物理剥离方法也行
2楼2020-06-07 19:33:19
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