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求助关于无机柔性薄膜相关知识 已有1人参与
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最近在看柔性无机薄膜相关的文章，看到有几篇是这样的文章：在云母基底上涂上一层LaNiO3作为底电极，然后再在LaNiO3底电极上旋涂上若干层薄膜，最后在薄膜上镀上金作为顶电极，想问问大家，有知道这样做完后，底电极怎么露出来参与性能测试呢？个人感觉用刀片刮不现实吧，又分不清哪个是薄膜哪个是LaNiO3底电极。请各位大神分析分析 实在想不通 |
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
最妙微云: 金币+41, ★★★很有帮助, 非常感谢您的帮助，受益匪浅！ 2020-05-30 14:58:22
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| 比较复杂的，是用光刻和腐蚀，或则是lift off的方法，在做薄膜的时候，把底电极暴露出来。在做顶电极的时候，用同样的方法来做，这样就可以实现不同层之间的位置不同，方便测试。像这种微纳加工的方法做，建议找研材微纳这样的公司做，毕竟需要专门的设备和材料。但是一般情况下，是不需要用光刻这么复杂的技术的，用胶带就可以。在做完底电极后，贴一小块胶带在基底上，然后再旋涂你的薄膜。再贴一片稍微大一点的胶带在第一片胶带位置上，完全覆盖，再做金电极。完成后，撕掉两层胶带，底部电极暴露，你就可以测试了。光刻的方式，比较适合在水平尺寸很小的地方使用。 |
2楼2020-05-29 12:05:22
小李！
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3楼2020-12-29 20:51:03