| 查看: 1051 | 回复: 3 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
huihuihuang新虫 (正式写手)
|
[求助]
关于利用椭偏仪测试双层薄膜的光学常数问题
|
|
|
请教一个问题： A：N型硅片上沉积有富硼层，B：N型硅片上沉积有富硼层和硼硅酸玻璃层（硼硅酸玻璃层在上） (a)采用椭偏分析仪测试样品A，得到样品A的Ψ (A) -λ曲线、采用椭偏分析仪测试样品B，得到样品B的Ψ (B) -λ曲线； (b)基于第一性原理密度泛函方法，求解得到样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数； (c)将样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数带入样品B的Ψ (B) -λ曲线，通过拟合分析得到样品B硼硅玻璃层的厚度、折射率和消光系数。 请问从步骤(C)中得到B中硼硅酸玻璃层的光学常数的原理是什么？是很常规的利用椭偏仪测试薄膜厚度与光学常数的方法吗？ |
回复此楼» 猜你喜欢
求材料调剂
已经有8人回复
-
294求调剂材料与化工专硕
已经有5人回复
-
一志愿华中科技大学，080502，354分求调剂
已经有4人回复
-
一志愿吉林大学材料学硕321求调剂
已经有6人回复
-
085410人工智能专硕317求调剂（0854都可以）
已经有3人回复
-
330求调剂
已经有3人回复
-
一志愿中海洋材料工程专硕330分求调剂
已经有5人回复
-
304求调剂
已经有5人回复
-
311求调剂
已经有4人回复
-
354求调剂
已经有7人回复
Nano2016
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3541.5
- 散金: 13984
- 红花: 11
- 帖子: 2776
- 在线: 298.5小时
- 虫号: 4388426
- 注册: 2016-01-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
4楼2020-05-18 12:11:02
Nano2016
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3541.5
- 散金: 13984
- 红花: 11
- 帖子: 2776
- 在线: 298.5小时
- 虫号: 4388426
- 注册: 2016-01-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2020-05-17 21:46:01
huihuihuang
新虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2369.6
- 散金: 305
- 红花: 3
- 帖子: 304
- 在线: 234.4小时
- 虫号: 2512538
- 注册: 2013-06-18
- 性别: MM
- 专业: 金属功能材料
3楼2020-05-17 22:15:01
