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huihuihuang

新虫 (正式写手)

[求助] 关于利用椭偏仪测试双层薄膜的光学常数问题

请教一个问题:

A:N型硅片上沉积有富硼层,B:N型硅片上沉积有富硼层和硼硅酸玻璃层(硼硅酸玻璃层在上)

(a)采用椭偏分析仪测试样品A,得到样品A的Ψ (A) -λ曲线、采用椭偏分析仪测试样品B,得到样品B的Ψ (B) -λ曲线;

(b)基于第一性原理密度泛函方法,求解得到样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数;

(c)将样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数带入样品B的Ψ (B) -λ曲线,通过拟合分析得到样品B硼硅玻璃层的厚度、折射率和消光系数。

请问从步骤(C)中得到B中硼硅酸玻璃层的光学常数的原理是什么?是很常规的利用椭偏仪测试薄膜厚度与光学常数的方法吗?
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Nano2016

新虫 (著名写手)

4楼2020-05-18 12:11:02
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Nano2016

新虫 (著名写手)

应该是可以的。需要比较丰富的分析经验。

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2楼2020-05-17 21:46:01
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huihuihuang

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Nano2016 at 2020-05-17 21:46:01
应该是可以的。需要比较丰富的分析经验。

可以解释一下大概的原理吗?这个容易实现吗?

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3楼2020-05-17 22:15:01
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