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huihuihuang

新虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
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虫号: 2512538
注册: 2013-06-18
性别: MM
专业: 金属功能材料

[求助] 关于利用椭偏仪测试双层薄膜的光学常数问题

请教一个问题：

A：N型硅片上沉积有富硼层，B：N型硅片上沉积有富硼层和硼硅酸玻璃层（硼硅酸玻璃层在上）

(a)采用椭偏分析仪测试样品A，得到样品A的Ψ (A) -λ曲线、采用椭偏分析仪测试样品B，得到样品B的Ψ (B) -λ曲线；

(b)基于第一性原理密度泛函方法，求解得到样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数；

(c)将样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数带入样品B的Ψ (B) -λ曲线，通过拟合分析得到样品B硼硅玻璃层的厚度、折射率和消光系数。

请问从步骤(C)中得到B中硼硅酸玻璃层的光学常数的原理是什么？是很常规的利用椭偏仪测试薄膜厚度与光学常数的方法吗？

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