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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 去除PMMA光刻胶
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欧拉也不会

新虫 (小有名气)

[交流] 去除PMMA光刻胶 已有3人参与

我的mos2经过了等离子体处理，现在需要将光刻胶去除掉，尽可能不影响等mos2上的等离子体，价格可谈

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1楼 2020-05-16 17:14:43
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你用啥等离子体处理的？一般pmma这种去胶，要么二甲苯之类的溶剂泡，要么氧等离子体，你的等离子体处理要是也是氧的，那就打吧。
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2楼2020-05-18 14:15:18
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hitsz_li

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
是长时间干法刻蚀过么？如果是PMMA有可能会变性或者碳化哦，这种情况下不好去了，如果不是，可尝试溶解性能更强的溶剂NEP、NMP等（有生育毒性）
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3楼2020-05-24 09:34:55
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18681127092

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我专业做光刻胶去除液

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4楼2021-11-11 22:52:41
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