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欧拉也不会

新虫 (小有名气)

[交流] 去除PMMA光刻胶已有3人参与

我的mos2经过了等离子体处理,现在需要将光刻胶去除掉,尽可能不影响等mos2上的等离子体,价格可谈

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yswyx

专家顾问 (著名写手)



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你用啥等离子体处理的?一般pmma这种去胶,要么二甲苯之类的溶剂泡,要么氧等离子体,你的等离子体处理要是也是氧的,那就打吧。
2楼2020-05-18 14:15:18
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hitsz_li

铁虫 (初入文坛)


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是长时间干法刻蚀过么?如果是PMMA有可能会变性或者碳化哦,这种情况下不好去了,如果不是,可尝试溶解性能更强的溶剂NEP、NMP等(有生育毒性)
3楼2020-05-24 09:34:55
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18681127092

新虫 (初入文坛)


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我专业做光刻胶去除液

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4楼2021-11-11 22:52:41
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