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需求阻挡氢扩散效果好的材料用于半导体
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| 重金求助,需求阻挡氢扩散效果好的材料用于半导体,之前有尝试AlO, Si,SiO2,W, Ta, TiN效果有限,求有数据的阻挡H扩散材料,谢谢 |
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2楼2020-05-15 15:57:04
xiaohuzs
铁虫 (小有名气)
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3楼2020-05-15 15:57:34
4楼2020-05-26 00:04:52









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