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新虫 (小有名气)

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[求助] 等离子溅射和离子束溅射的区别已有1人参与

等离子溅射和离子束溅射有什么区别？除了磁控溅射、离子束溅射等物理气相沉积还包括哪些？

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1楼 2020-05-03 19:58:45

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金虫 (著名写手)

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等离子溅射物质除固态、液态和气态之外，还有第四态，即等离子态。在外界高能作用下，分子或原子被离解成阳离子及同等数量的阴离子或电子，这一总体称为等离子体。利用等离子体进行溅射的工艺称为等离子溅射。
等离子溅射也称为四极溅射，它是在阴极溅射的基础上增加一个热灯丝阴极和一个辅助阴极来进行溅射的。
离子束溅射出来的颗粒比较粗大，颗粒走向有一定取向性，就好像一块块“泥巴”被甩到基底上，最终连成膜；热蒸发的颗粒小，蒸镀的时候炉子里弥漫着靶材分子，因此颗粒取向性不大，最终膜比较平坦。