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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 化工设备 » 设备操作技术 » 等离子溅射和离子束溅射的区别
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lxq_529

新虫 (小有名气)

[求助] 等离子溅射和离子束溅射的区别 已有1人参与

等离子溅射和离子束溅射有什么区别？除了磁控溅射、离子束溅射等物理气相沉积还包括哪些？
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1楼 2020-05-03 19:58:45
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NGJ889KWWC;

金虫 (著名写手)

石油化工，天然气工程师

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
等离子溅射物质除固态、液态和气态之外，还有第四态，即等离子态。在外界高能作用下，分子或原子被离解成阳离子及同等数量的阴离子或电子，这一总体称为等离子体。利用等离子体进行溅射的工艺称为等离子溅射。
等离子溅射也称为四极溅射，它是在阴极溅射的基础上增加一个热灯丝阴极和一个辅助阴极来进行溅射的。
      离子束溅射出来的颗粒比较粗大，颗粒走向有一定取向性，就好像一块块“泥巴”被甩到基底上，最终连成膜；热蒸发的颗粒小，蒸镀的时候炉子里弥漫着靶材分子，因此颗粒取向性不大，最终膜比较平坦。
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学习是永恒的主题、交流是一种态度、坚持是一种本能。
2楼2020-05-06 14:59:28
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L小懒虫

木虫 (著名写手)
简单来说就是离化和溅射方式不一样，PVD有很多类型，您所说的磁控是一大类。此外，离子束“靶向”不一样，做出来的薄膜性能有差别。

发自小木虫IOS客户端
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3楼2020-07-06 07:05:10
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