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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 氮化硅（SiNx）刻蚀
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czcdxmc

木虫 (正式写手)

MEMS小学生

[交流] 氮化硅（SiNx）刻蚀

ICP腔室刻蚀Si后，刻蚀SiNx的plasma不能正常工作。

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学海无涯，回头是岸。
1楼 2020-04-14 17:31:17
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工艺混子

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不能工作指的什么，你应该描述出来

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5楼2020-04-21 21:35:48
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archerjason

至尊木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
有残留物没清干净吧

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失去人性，失去很多。失去兽性，失去一切。
2楼2020-04-14 19:56:28
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小青龙汤

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
3楼2020-04-14 20:03:18
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zuopeng142

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不能正常工作是不能启辉，还是反射功率过大，还是刻蚀工艺漂了?

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4楼2020-04-14 21:30:07
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