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cupevan

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】磁控溅射用的硅基片是单晶硅片吗?还是其他类型的?

磁控溅射用的硅基片时单晶硅片还是其他类型的?如果要购买的话是哪一种?谢谢
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二月候鸟

铜虫 (初入文坛)


cupevan(金币+1,VIP+0): 7-6 16:38
硅片参数---符合SEMI标准或者根据用户的要求生产
2楼2009-07-05 20:59:13
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cupevan

金虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by 二月候鸟 at 2009-7-5 20:59:
硅片参数---符合SEMI标准或者根据用户的要求生产

我是做实验用,如果只是做实验的话用单晶硅就差不多了吧?还有就是是不是所有的用单晶硅做基片的话都要弄缓冲层(过渡层)?谢谢
3楼2009-07-05 21:01:19
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maojiecheng

银虫 (小有名气)


★ ★
cupevan(金币+2,VIP+0): 7-6 16:38
单晶硅基片分为n型和p型,还有搀杂和不搀杂,你可以按照需要使用,一般作衬底要求不是很高,只是选取的方向不同可能影响较大,晶格匹配
4楼2009-07-06 08:54:55
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lvyifei9286

金虫 (正式写手)


cupevan(金币+1,VIP+0): 7-6 20:07
楼上说的不错,一般只要考虑是什么取向的就行了,如(100),要不要缓冲层主要取决于晶格匹配的问题,还有就是怎么样清洁Si表面的问题
5楼2009-07-06 17:44:10
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cupevan

金虫 (正式写手)

谢谢楼上的几位朋友。
6楼2009-07-06 20:11:58
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bryano

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
要看做薄膜还是做结了。要做膜,不必清洗,因为:
1.清洗完了会马上自然氧化。
2.即使原位清洗,洗完会导致衬底表明不平整,影响薄膜生长。
7楼2009-07-10 12:20:57
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