24小时热门版块排行榜    

查看: 1094  |  回复: 6
当前主题已经存档。

cupevan

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】磁控溅射用的硅基片是单晶硅片吗?还是其他类型的?

磁控溅射用的硅基片时单晶硅片还是其他类型的?如果要购买的话是哪一种?谢谢
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

二月候鸟

铜虫 (初入文坛)


cupevan(金币+1,VIP+0): 7-6 16:38
硅片参数---符合SEMI标准或者根据用户的要求生产
2楼2009-07-05 20:59:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cupevan

金虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by 二月候鸟 at 2009-7-5 20:59:
硅片参数---符合SEMI标准或者根据用户的要求生产

我是做实验用,如果只是做实验的话用单晶硅就差不多了吧?还有就是是不是所有的用单晶硅做基片的话都要弄缓冲层(过渡层)?谢谢
3楼2009-07-05 21:01:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

maojiecheng

银虫 (小有名气)


★ ★
cupevan(金币+2,VIP+0): 7-6 16:38
单晶硅基片分为n型和p型,还有搀杂和不搀杂,你可以按照需要使用,一般作衬底要求不是很高,只是选取的方向不同可能影响较大,晶格匹配
4楼2009-07-06 08:54:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lvyifei9286

金虫 (正式写手)


cupevan(金币+1,VIP+0): 7-6 20:07
楼上说的不错,一般只要考虑是什么取向的就行了,如(100),要不要缓冲层主要取决于晶格匹配的问题,还有就是怎么样清洁Si表面的问题
5楼2009-07-06 17:44:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cupevan

金虫 (正式写手)

谢谢楼上的几位朋友。
6楼2009-07-06 20:11:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bryano

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
要看做薄膜还是做结了。要做膜,不必清洗,因为:
1.清洗完了会马上自然氧化。
2.即使原位清洗,洗完会导致衬底表明不平整,影响薄膜生长。
7楼2009-07-10 12:20:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 cupevan 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 要骂人了,新模版改版就是要淡化问题凝练这种虚的东西,结果有个评委还在说凝练得不够 +4 瞬息宇宙 2026-08-31 7/350 2026-09-02 09:11 by F03-zhang
[基金申请] 科研人应该花精力去思考如何解决问题,而不是去凝练问题 +3 瞬息宇宙 2026-09-01 5/250 2026-09-02 08:01 by anjeeshine
[基金申请] 投票:  有多少人是今天查系统知道结果的? +17 爱看书的可乐 2026-08-26 19/950 2026-09-02 00:19 by xiangy672
[基金申请] 面上合作单位盖章 +6 ssyjh 2026-08-27 9/450 2026-09-01 20:01 by huagongfeihu
[基金申请] 面上函评意见出来了,像什么等级? 20+4 Tsingking1 2026-08-27 17/850 2026-09-01 19:51 by 超级无敌华子
[论文投稿] 小白求助 投论文要求的highlights应该如何写 5+3 l1963982152 2026-08-29 4/200 2026-09-01 09:04 by 北京莱茵编辑
[基金申请] 麻烦专家们看看评委们的意见(F口面上) +7 gdd2018 2026-08-28 12/600 2026-09-01 08:32 by 尼古拉斯小虫
[基金申请] 怎么看青基中了没有啊 +6 叶九微 2026-08-26 6/300 2026-08-31 23:54 by yudaoqian88
[基金申请] 国社科又开始会评了,不知道这次命运如何 +7 雨打竹帘 2026-08-30 11/550 2026-08-31 23:16 by hittle2008
[基金申请] 能否申诉? +7 echo8914667 2026-08-30 8/400 2026-08-31 17:00 by yihongxu
[基金申请] 基金不中,共勉 +12 eulota 2026-08-26 12/600 2026-08-31 08:42 by ZJTJZ
[基金申请] 为什么到现在没收到通知? +5 tannykie 2026-08-29 5/250 2026-08-30 21:05 by purplejack
[基金申请] 有没有仍没收到信息的 +7 德尚中行 2026-08-27 8/400 2026-08-30 20:52 by purplejack
[基金申请] 国自然面上复盘~欢迎讨论 (金币+15) +15 晴天加油 2026-08-26 16/800 2026-08-29 18:28 by symmetry
[基金申请] 国自然评审意见 +13 wangmingqi 2026-08-28 19/950 2026-08-29 10:22 by Poppy1104
[基金申请] 系统查不到 +11 董八千 2026-08-26 11/550 2026-08-28 18:06 by Leogzhya
[基金申请] 怎么查啊 +6 huang1991js 2026-08-26 6/300 2026-08-28 08:42 by winsaint
[基金申请] 看板上这么多中的,有点像50人群里49个人都是骗子的那种感觉…… +5 a089 2026-08-26 6/300 2026-08-27 14:05 by jonewore
[基金申请] 为什么 国际(地区)合作与交流项目 没有放榜? 10+3 majunge000 2026-08-26 11/550 2026-08-27 08:42 by 北京莱茵编辑
[基金申请] 系统进不去 +4 yanglien 2026-08-26 5/250 2026-08-26 11:10 by wenfengw83
信息提示
请填处理意见