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爱惜花草

木虫 (著名写手)

[求助] 蓝宝石衬底上物理沉积一层Al2O3,可以被酸/碱腐蚀吗? 已有1人参与

蓝宝石主要成分为alpha-Al2O3,结构极稳定,既不溶于酸,又不溶于碱。
如果利用PVD比如溅射在蓝宝石衬底上继续沉积一层Al2O3,这层Al2O3应该可以被酸/碱腐蚀完全吧,会不会在界面有残留?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
蓝宝石是可以腐蚀的,印象里是用很热的磷酸。溅射沉积的氧化铝是无定形的,腐蚀速率和单晶的肯定有一定的差别,但是仅仅有腐蚀速率的差别。所以避免残留的办法就是过腐蚀,必然导致蓝宝石也会被腐蚀一些。
2楼2020-03-13 14:27:49
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egg430

新虫 (小有名气)

高温磷酸硫酸溶液可以腐蚀
九月鹰飞
3楼2020-03-14 09:45:37
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zuopeng142

铁虫 (小有名气)

和溅射条件关系很大,质量差的HCl都能腐蚀得动;蓝宝石衬底一般浓硫酸比浓磷酸3:1左右,一百五十度以上温度腐蚀还比较快,搜下湿法腐蚀蓝宝石图形衬底,有文献

发自小木虫Android客户端
4楼2020-03-21 23:01:13
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