| 查看: 1294 | 回复: 3 | |||
爱惜花草木虫 (著名写手)
|
[求助]
蓝宝石衬底上物理沉积一层Al2O3,可以被酸/碱腐蚀吗? 已有1人参与
|
|
蓝宝石主要成分为alpha-Al2O3,结构极稳定,既不溶于酸,又不溶于碱。 如果利用PVD比如溅射在蓝宝石衬底上继续沉积一层Al2O3,这层Al2O3应该可以被酸/碱腐蚀完全吧,会不会在界面有残留? |
» 猜你喜欢
香港大学仿生材料与生物集成器件研究组招生招聘25-26
已经有1人回复
光固化聚硅氧烷SiOC陶瓷前驱体烧结开裂
已经有5人回复
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有79人回复
关于尼龙双拉膜
已经有0人回复
氧化亚铜光电阴极产氢
已经有0人回复
智能故障诊断及结构可靠性设计分析优化前沿技术
已经有5人回复
FDTD与Python超表面智能设计前沿技术
已经有0人回复
AI有限元复合材料多尺度材料性能预测技术
已经有0人回复
机器学习辅助复合材料性能预测开发设计优化前沿技术
已经有0人回复
CTBN价位相差为何如此之大?
已经有0人回复
导电高分子用什么工艺处理分子链的堆叠会更加规整???
已经有23人回复

yswyx
专家顾问 (著名写手)
-

专家经验: +651 - 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2020-03-13 14:27:49

3楼2020-03-14 09:45:37
zuopeng142
铁虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 909.8
- 红花: 1
- 帖子: 210
- 在线: 19.4小时
- 虫号: 1173829
- 注册: 2010-12-20
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
|
和溅射条件关系很大,质量差的HCl都能腐蚀得动;蓝宝石衬底一般浓硫酸比浓磷酸3:1左右,一百五十度以上温度腐蚀还比较快,搜下湿法腐蚀蓝宝石图形衬底,有文献 发自小木虫Android客户端 |
4楼2020-03-21 23:01:13











回复此楼