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爱惜花草木虫 (著名写手)
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蓝宝石衬底上物理沉积一层Al2O3，可以被酸/碱腐蚀吗？ 已有1人参与
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蓝宝石主要成分为alpha-Al2O3，结构极稳定，既不溶于酸，又不溶于碱。 如果利用PVD比如溅射在蓝宝石衬底上继续沉积一层Al2O3，这层Al2O3应该可以被酸/碱腐蚀完全吧，会不会在界面有残留？ |
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yswyx 
专家顾问 (著名写手)
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2楼2020-03-13 14:27:49
3楼2020-03-14 09:45:37
zuopeng142
铁虫 (小有名气)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
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和溅射条件关系很大，质量差的HCl都能腐蚀得动;蓝宝石衬底一般浓硫酸比浓磷酸3：1左右，一百五十度以上温度腐蚀还比较快，搜下湿法腐蚀蓝宝石图形衬底，有文献 发自小木虫Android客户端 |
4楼2020-03-21 23:01:13