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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 蓝宝石衬底上物理沉积一层Al2O3，可以被酸/碱腐蚀吗？
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爱惜花草

木虫 (著名写手)

[求助] 蓝宝石衬底上物理沉积一层Al2O3，可以被酸/碱腐蚀吗？ 已有1人参与

蓝宝石主要成分为alpha-Al2O3，结构极稳定，既不溶于酸，又不溶于碱。
如果利用PVD比如溅射在蓝宝石衬底上继续沉积一层Al2O3，这层Al2O3应该可以被酸/碱腐蚀完全吧，会不会在界面有残留？
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一步一步去实现自己的目标，不要让自己成为自己的绊脚石，克制自己！
1楼 2020-03-11 09:00:06
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
蓝宝石是可以腐蚀的，印象里是用很热的磷酸。溅射沉积的氧化铝是无定形的，腐蚀速率和单晶的肯定有一定的差别，但是仅仅有腐蚀速率的差别。所以避免残留的办法就是过腐蚀，必然导致蓝宝石也会被腐蚀一些。
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2楼2020-03-13 14:27:49
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egg430

新虫 (小有名气)
高温磷酸硫酸溶液可以腐蚀
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九月鹰飞
3楼2020-03-14 09:45:37
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zuopeng142

铁虫 (小有名气)
和溅射条件关系很大，质量差的HCl都能腐蚀得动;蓝宝石衬底一般浓硫酸比浓磷酸3：1左右，一百五十度以上温度腐蚀还比较快，搜下湿法腐蚀蓝宝石图形衬底，有文献

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4楼2020-03-21 23:01:13
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