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气体流量控制器常见故障分析及解决方法
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最近我们收到很多使用气体流量控制器（MFC）的高校研究机构的客户，反应如下问题： 1.MFC经常会堵塞。 2.流量显示会有负数。 3.流量显示“EEEE”或是超过MFC量程。 4.流量不稳定。 针对以上问题，做出如下解答： 1.需要确定管路的结构，是否存在类似缓冲罐，升压罐，混气罐的装置。 若有，需要确定他们是否能正常工作，如果能正常工作，则排除此隐患。 如果此类装置发生堵塞，容造成密闭罐内压力上升，超过进气压力，从而MFC显示负数或流量显示为0. 2.确定MFC和管路的连接头是否正常连接，有无漏气的可能。 常用的3mm或6mm双卡套接头在安装过程中，经常会出现没有将钢管安装到位即卡套没有完好的卡在钢管上。 采用硅胶管的朋友，不要将硅胶管套在MFC管接头上即完成，需要用绑紧带绑紧密封。 使用四氟管的朋友在购买管子时，需要量好四氟管外径，有时6mm四氟管的外径只有5.5-5.8mm。 此类故障容易造成MFC流量显示不稳定。 3.显示负数。 请检查MFC的安装位置是否正确，即每台MFC都有流向指示标，进出气需要与指示标保持一致。 4.超量程。 进气压力于出气压力差，即MFC的压差超过MFC的最大规定值。 5.堵塞。 要了解MFC使用气体的种类是否为遇到空气会固化的类型，例如硅烷。如果是，很可能是漏气导致气体粉末化，堵住传感器通道。 反应中的水由于虹吸效应进入MFC，于反应气发生反应产生结晶体堵塞MFC。 解决方法： 解决此类问题最好的方法，是在管路设计之初，增加一些必要的阀门和管件。 在MFC前后使用的阀门可以按照如下设计： 气源瓶-->过滤器（建议0.5-1μ）-->手动球阀（或是电动截止阀）-->MFC-->单向阀-->其他配件 以上方案为一家之言，大家勿喷。  |
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