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胡干的兄弟

新虫 (初入文坛)

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专业: 催化化学

[交流] 气体流量控制器常见故障分析及解决方法

最近我们收到很多使用气体流量控制器（MFC）的高校研究机构的客户，反应如下问题：
1.MFC经常会堵塞。
2.流量显示会有负数。
3.流量显示“EEEE”或是超过MFC量程。
4.流量不稳定。
针对以上问题，做出如下解答：
1.需要确定管路的结构，是否存在类似缓冲罐，升压罐，混气罐的装置。
若有，需要确定他们是否能正常工作，如果能正常工作，则排除此隐患。
如果此类装置发生堵塞，容造成密闭罐内压力上升，超过进气压力，从而MFC显示负数或流量显示为0.
2.确定MFC和管路的连接头是否正常连接，有无漏气的可能。
常用的3mm或6mm双卡套接头在安装过程中，经常会出现没有将钢管安装到位即卡套没有完好的卡在钢管上。
采用硅胶管的朋友，不要将硅胶管套在MFC管接头上即完成，需要用绑紧带绑紧密封。
使用四氟管的朋友在购买管子时，需要量好四氟管外径，有时6mm四氟管的外径只有5.5-5.8mm。
此类故障容易造成MFC流量显示不稳定。
3.显示负数。
请检查MFC的安装位置是否正确，即每台MFC都有流向指示标，进出气需要与指示标保持一致。
4.超量程。
进气压力于出气压力差，即MFC的压差超过MFC的最大规定值。
5.堵塞。
要了解MFC使用气体的种类是否为遇到空气会固化的类型，例如硅烷。如果是，很可能是漏气导致气体粉末化，堵住传感器通道。
反应中的水由于虹吸效应进入MFC，于反应气发生反应产生结晶体堵塞MFC。

解决方法：
   解决此类问题最好的方法，是在管路设计之初，增加一些必要的阀门和管件。
   在MFC前后使用的阀门可以按照如下设计：
   气源瓶-->过滤器（建议0.5-1μ）-->手动球阀（或是电动截止阀）-->MFC-->单向阀-->其他配件
   以上方案为一家之言，大家勿喷。

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1楼 2020-02-29 23:50:31

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