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半球形曲面的磁控溅射镀膜
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各位大神知道国内能用磁控溅射镀半球形样品的研究院或高校么？能不能推荐或自荐一些？ 主要镀Au或Pt，厚度几十纳米，对膜层厚度的均匀性有一定要求 或者为保证膜层厚度的均匀性各位大神都是怎么做的？ |
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