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xiangxintian

木虫 (正式写手)

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[求助] 液相外延、气相外延与常说的物理气相沉积PVD和化学气相沉积CVD有什么本质上的区别吗？已有1人参与

如题。液相外延、气相外延与常说的物理气相沉积PVD和化学气相沉积CVD有什么本质上的区别吗？如果有的话区别在什么地方？如果没有本质区别，那么什么时候该说沉积，什么时候该说外延呢？

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1楼2020-01-30 11:49:15

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xiangxintian

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引用回帖:

2楼: Originally posted by 13813921817 at 2020-02-01 17:26:23
外延是一个以衬底晶片作籽晶并依衬晶体结构向外延伸为特征的薄膜生长工艺，它可以在气相中进行，也可在液相中进行，前者称为气相外延(VPE)，后者称为液相外延(LPE)。气相外延是一种化学气相沉积(CVD)过程与表面成核 ...

谢谢，非常感谢哈~~~