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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 分析 » 【求助】台阶仪和AFM的区别
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tong5028

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】台阶仪和AFM的区别

本人在做SPR，在想用什么方法测金膜厚度(50nm左右)的问题。老板想用AFM做﹐打听之下发现学物理的是用台阶仪测的。想问一下牛人们﹐它们的区别在那?
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1楼 2009-06-25 16:11:42
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MCWANDE

金虫 (正式写手)
★ ★
tong5028(金币+2,VIP+0):thank you!! 6-25 21:39
在测厚度上台阶仪更简单, 准确性差不多.
如果看形貌, AFM给出的分辨率更高.
个人以为用台阶仪好.

你是北理工的吗?
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采菊东篱下,悠然见南山.
2楼2009-06-25 18:10:36
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tong5028

金虫 (正式写手)
谢了呢，我还想再问一下，它们的分辨率能否达到1nm以下呢?台阰仪做一个样大概要多少时间呢?(不计算开机，调节)
我不是北理工的，我是武大的，嘿嘿。

[ Last edited by tong5028 on 2009-6-25 at 21:43 ]
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3楼2009-06-25 21:40:08
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MCWANDE

金虫 (正式写手)
★ ★ ★
tong5028(金币+3,VIP+0):thank you!! 6-26 09:47
好的台阶吹嘘精度为0.1nm,
但我认为言过其实.
1nm是合理的估计.

一般而言, 测一个样需要一分钟左右.
拿针尖划个痕, 沿垂直于划痕的方向扫一条线就好了.

武大的好啊, 十大名校啊!
武大谁在做SPR?
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采菊东篱下,悠然见南山.
4楼2009-06-25 22:37:04
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tong5028

金虫 (正式写手)
武大物院，生科院和化院都有在做SPR。我所知的化院的刘义老师，曾昭睿老师和我所在的课题组(庞代文老师)都有在做SPR。
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5楼2009-06-26 09:47:25
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kowlnay

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
测试条件好的话可以达到埃级，我们实验室用的就是Dektak 150，偶尔能做到这个效果
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瑞士CSM公司（表面力学测试）
6楼2011-08-18 09:11:46
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