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luo861001

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】能用化学方法在SiC表面氧化形成一层SiO2吗

请问能用化学方法在SiC表面氧化形成一层SiO2吗?具体用什么试剂?
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xujie4132

至尊木虫 (职业作家)

闭关修炼


luo861001(金币+1):谢谢参与
可以做SiO2非晶涂层,好象有包埋法,具体你可以查相关文献
4楼2009-06-19 14:09:21
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xiaobo1255

木虫 (著名写手)

★ ★ ★
luo861001(金币+1):谢谢参与
张甜(金币+1,VIP+0):欢迎交流 6-19 11:05
luo861001(金币+1,VIP+0): 6-21 19:08
看看能不能用浓硝酸  高锰酸钾  重铬酸钾等强氧化剂
2楼2009-06-19 10:36:28
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chnoy

银虫 (小有名气)

★ ★
luo861001(金币+1):谢谢参与
洛阳学子(金币+1,VIP+0):不错,可能不太好控制 6-21 02:48
加个1000度以上高温热氧化试试看
3楼2009-06-19 12:06:16
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xiaopeng6268

银虫 (初入文坛)

★ ★
luo861001(金币+1):谢谢参与
洛阳学子(金币+1,VIP+0):多谢交流 6-21 02:48
可以用化学气相沉积法,在反应器中通入一定化学计量比的氧气和硅烷。便可在SiC表面氧化形成一层SiO2。
5楼2009-06-20 14:07:41
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