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feixiang132

银虫 (小有名气)

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[交流] 【求助】做薄膜断面TEM测试，制样！

做薄膜断面TEM测试，怎么制样！
有没有牛人给简单介绍一下
什么切割，对粘。。
先谢谢大家了！

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1楼 2009-06-19 09:22:04

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zhuzhen

木虫 (正式写手)

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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

本站搜索 TEM样品制备技术有你想要的东东

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2楼2009-06-19 09:59:02

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lyf2225

金虫 (小有名气)

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闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢交流！ 6-19 11:22

薄膜断面的TEM观察，通常将两片带膜的基板膜与膜相对进行对粘，对粘后要磨薄嘛，为了减轻磨的工作量，通常可用内圆切割机先将对粘后的样品切割，再磨薄小于100微米吧，然后超声切割直径3mm圆或椭圆(取决于对粘样品的尺寸），最后粘到钼环上进行离子减薄。在GATAN公司的网站上有专门介绍薄膜样品断面(Cross-Section)的制样。

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3楼2009-06-19 10:05:43

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