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hitlby

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[交流] 【请教】纳米多层膜中的非晶晶化是怎么回事？

请各位大侠指教

哦，还有一些溅射态为非晶的材料在纳米多层膜中被晶化后为什么多层膜的硬度会得到显著提高，原因是什么啊？

最好能提供点参考文献，我想了解一下这个方向。

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1楼 2009-06-17 11:57:28

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jianling.y

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★ ★
hitlby(金币+50,VIP+0):谢谢 6-17 12:07
caocao4735(金币+2,VIP+0):鼓励这么专业的回答希望后续问题两人PM联系 6-17 18:29
mselxp(金币+0,VIP+0):请解释与楼主的关系，为什么IP只差最后一位？？？ 6-18 16:32
popsheng(金币-50,VIP+0):貌似涉嫌金币非法转移哦 6-18 19:53

所谓纳米多层膜是两种材料以纳米量级的尺寸交互生长而形成的二维多层结构材料。
在纳米多层膜的晶体生长中存在一种“模板效应”，也就是先沉积层材料的晶体结构会对后沉积层材料的晶体生长产生影响，使二者之间形成共格生长结构。正是在这种“模板效应”下，一些溅射沉积态为非晶的材料在与一些晶体态材料交互生长时，能够在一定的临界厚度（通常不到1nm）下得到晶化，并形成共格外延生长，纳米多层膜的硬度也得到显著提高。随着层厚的进一步增加，超过一定的临界厚度时，这些材料又会逐渐转变为非晶结构，多层膜的硬度也随之明显下降。
具体更详细信息可参考一下一些文献：
1.Jianling Yue, Yan Liu, Wenji Zhao, Geyang Li. Crystalization of AlON and its effects on the growth and hardness of reactively synthesized VN/AlON nanomultilayer. Scripta Materialia, 2006, 55:895-898.
2. 赵文济, 孔明, 黄碧龙, 李戈扬, SiO2的赝晶化及AlN/SiO2纳米多层膜的超硬效应, 物理学报,2007, 56(12): 322-328.