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blackspace

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】虫子们,在单晶硅上面长二氧化硅怎么控制啊?

比如说真空度,温度,时间跟膜厚的关系。。。。。
谢谢大家了
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初来乍到,请多关照!
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gaochao808

金虫 (小有名气)

热氧化法不行吗?...
2楼2009-06-17 11:31:42
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stardom427

木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
关键是湿法还是干法氧化。。。
3楼2009-06-17 11:44:46
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blackspace

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by gaochao808 at 2009/6/17 11:31:
热氧化法不行吗?...

恩 我说的就是热氧化法

但是具体操作还是不知道,要不然就得自己摸索了
初来乍到,请多关照!
4楼2009-06-17 11:47:47
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