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[求助] 类金刚石薄膜电阻率的测试求助

各位,我想测试单晶硅基片上的纯的和掺金属Ti的类金刚石薄膜的电阻率,电阻率范围我查了下纯的在十的八次方以上,掺钛的小点。但我问了几家测试中心,他们都是四探针法,测试范围在十的五次方以内,不能满足需求呀。


各位知道用什么仪器可以测这么高的电阻率?

急求。

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2楼2019-12-18 08:13:56
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