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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射设备射频电源故障求助，请高手指点！
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taony

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射设备射频电源故障求助，请高手指点！ 已有1人参与

磁控溅射设备射频电源只有电压没有电流，请教故障原因，请高手指点！
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1楼 2019-12-15 21:44:32
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
taony: 金币+5, 谢谢 2019-12-16 09:59:18
万用表多查查线路和接头，断路了吧
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2019-12-16 09:25:07
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
射频有问题的时候，你再试验，一定用小功率来试机。比如50瓦。。。 注意安全
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2019-12-16 12:03:41
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工艺混子

新虫 (小有名气)
接线有没有接好，如果没问题的话，看一下射频电源匹配是不是手动的模式，没有匹配好

发自小木虫IOS客户端
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4楼2020-03-08 21:36:25
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