http://www.phenom-china.com
荷兰进口飞纳台式扫描电镜
上海市浦东新区张江高科科苑路88号德国中心E座501-503
联系人: 查迪 / 邮箱: emily@phenom-china.com / QQ: 2880637590 / 电话: 021-28986875 / 手机: 18516656178
查看: 3588  |  回复: 34
【有奖交流】积极回复本帖子,参与交流,就有机会分得作者 台式电镜 的 75 个金币 ,回帖就立即获得 1 个金币,每人有 1 次机会

台式电镜

捐助贵宾 (初入文坛)

[商家供应] 扫描电镜分析样品表面的深度是多少

本商家没有参加优惠活动,一起邀请他来参加吧 我的代金券

代金券0元
限量 x 张
满 x 可使用;有效期 x 天;过期可退

内容

最近,有飞纳电镜用户询问关于电子束分析样品时可以穿透样品的深度的问题,这里小编将为大家详细介绍一下。

扫描电镜是利用聚焦电子束进行微区样品表面形貌和成分分析,电子从发射源(灯丝)经光路系统最终到达样品表面,电子束直径可到 10 nm 以下,场发射电镜的聚集电子束直径会更小。

聚焦电子束到达样品表面会激发出多种物理信号,包括二次电子(SE),背散射电子(BSE),俄歇电子(AE)、特征 X 射线(X-ray)、透射电子(TE)等。

• 二次电子 信号主要来自样品表面,其深度范围 10 nm ,成像具有较高分辨率,能够很好的反映样品形貌特征。
• 背散射电子 是入射电子被样品原子核反弹回来的部分电子,电子能量较高,信号深度范围可到 2 μm。
• X 射线 可以从样品较深的位置出射,其深度范围可到 5 μm。

扫描电镜分析样品表面的深度是多少


图1 不同样品信号深度



聚焦电子束按一定方向入射到样品上,电子会受到材料中晶体位场和原子库仑场作用,其运动方向发生改变,称散射现象,且该过程是随机过程。

入射电子在样品内部的散射轨迹可以用 Monte Carlo 电子轨迹模型进行模拟。聚焦电子束与样品的作用区的形状类似水滴形状。根据 Monte Carlo 电子轨迹模型可以推导出入射电子最大穿透深度 H。

H = 0.0019 (A/Z)^1.63 E0^1.71 / ρ



其中 A 为样品原子量,Z 为样品原子序数,E0 为入射电子能量(单位 KeV),ρ 为样品密度。

扫描电镜分析样品表面的深度是多少-1


图2 电子束与样品作用区域模拟图



聚焦电子束与样品作用区域的大小主要与样品原子序数、电镜加速电压和电子束入射角度有关。

1) 样品原子序数 随原子序数增大,最大穿透深度降低。

如下图所示,当扫描电镜加速电压固定,随着样品原子序数增加,其作用区域不断减小。随原子序数增大,入射电子越容易散射,更容易偏离起始方向,相互作用区域会减少,最大穿透深度也降低。

扫描电镜分析样品表面的深度是多少-2


图3 原子序数对相互作用区域的影响



2) 电镜加速电压 随着加速电压增大,最大穿透深度增加。

如下图所示,对同一种材料,随着加速电压增加(5~25kV),其作用区域不断变大。分别采用 5kV、10kV、15kV,利用背散射探头观察碳材料,5kV 下样品表面细节更丰富,15kV 样品形貌有明显穿透感。

加速电压变大,入射电子的能量也增加,电子的穿透深度变深,电子轨迹在样品表面变化不大,随着电子穿透深度增加和多次散射发生,入射电子方向也发生变化,作用区域也变大。

扫描电镜分析样品表面的深度是多少-3


图4 加速电压对相互作用区域的影响



扫描电镜分析样品表面的深度是多少-4


扫描电镜分析样品表面的深度是多少-5


扫描电镜分析样品表面的深度是多少-6


图5 背散射图像,不同加速电压下的碳材料形貌



3) 电子束入射角度 入射角度增大,作用区域越小。

入射电子与样品作用区域形状类似水滴,当样品表面不平或发生倾斜时,电子束作用区域亦会受到影响。

扫描电镜分析样品表面的深度是多少-7


图6 入射电子束角度

» 猜你喜欢

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

台式电镜(金币+1): 谢谢参与
2楼2019-12-13 14:13:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

台式电镜(金币+1): 谢谢参与
3楼2019-12-13 14:33:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

台式电镜(金币+1): 谢谢参与
4楼2019-12-14 15:06:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bsese

至尊木虫 (文坛精英)


台式电镜(金币+1): 谢谢参与
祝好!!祝好运连连!!

发自小木虫Android客户端
5楼2019-12-14 16:04:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

台式电镜(金币+1): 谢谢参与
6楼2019-12-14 18:05:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

台式电镜(金币+1): 谢谢参与
·
7楼2019-12-14 19:55:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

台式电镜(金币+1): 谢谢参与
8楼2019-12-14 21:32:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

台式电镜(金币+1): 谢谢参与
9楼2019-12-14 22:38:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

台式电镜(金币+1): 谢谢参与
10楼2019-12-14 23:17:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 台式电镜 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 考研求调剂,工科,总分304 +3 矮子不想长高了 2026-03-08 4/200 2026-03-08 15:24 by 嘿嘿uu
[考研] 324求调剂 +7 wxz2 2026-03-03 10/500 2026-03-08 12:42 by 蓝莓都给你
[考研] 一志愿苏大材料工程专硕293求调剂 +4 钢铁大炮 2026-03-04 4/200 2026-03-07 23:16 by ms629
[考研] 材料工程085601调剂求老师收留 +4 强木木木 2026-03-07 4/200 2026-03-07 22:34 by Leeding1356
[考研] 一志愿211 化学305分求调剂 +3 0703杨悦305分 2026-03-05 3/150 2026-03-07 21:15 by yinhuanshun
[考研] 085600材料调剂 总分330 +6 池池丶 2026-03-03 6/300 2026-03-06 15:50 by @飒飒飒飒
[考研] 材料学硕318求调剂 +13 February_Feb 2026-03-01 13/650 2026-03-06 15:30 by GGOND
[考研] 085600材料与化工调剂 280分 +13 yyqqhh 2026-03-03 13/650 2026-03-06 11:29 by 2020015
[考研] 268求调剂 +4 刘合华 2026-03-05 4/200 2026-03-06 11:18 by lature00
[考研] 材料学学硕308分/本科东北大学/一志愿西北工业大学/ 5+3 苏尧幺幺 2026-03-03 8/400 2026-03-05 16:06 by njzyff
[考研] 304分材料专硕求调剂 +11 qiuzhigril 2026-03-03 14/700 2026-03-05 09:30 by vfdbghn
[考研] 22408-273求调剂-担任3个项目的负责人-1篇国际期刊论文(一作)1篇核心期刊论文在投。 +3 没想好取什么名 2026-03-03 3/150 2026-03-05 08:38 by Destiny688
[考研] 085600 材料与化工 298 +14 小西笑嘻嘻 2026-03-03 14/700 2026-03-04 16:23 by sslc1985
[考研] 0703化学求调剂 +3 将未有期 2026-03-04 3/150 2026-03-04 16:19 by sslc1985
[考研] 能动297求调剂,本科川大 +4 邵11 2026-03-04 4/200 2026-03-04 15:29 by lylylyheart
[考研] 0703化学学硕 288分 +4 旅行中的紫葡萄 2026-03-03 4/200 2026-03-03 23:41 by ch1979
[考研] 化工专硕调剂 +4 利好利好. 2026-03-03 7/350 2026-03-03 21:30 by L135790
[考研] 292求调剂 +3 sgbl 2026-03-03 3/150 2026-03-03 17:30 by barlinike
[考研] 275求调剂 +7 明远求学 2026-03-01 7/350 2026-03-02 19:22 by zhukairuo
[考研] 322求调剂 +3 熊境喆 2026-03-01 3/150 2026-03-02 08:44 by houyaoxu
信息提示
请填处理意见