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ws4231153

新虫 (小有名气)


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磁控溅射Pt Ti薄膜附着力差
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如题,请问如何增加这两个薄膜的附着力,想用来做底电极,却附着力总是很差,有什么参数可以调吗?功率,温度,压强上面,目前做过50w 200度加热的效果不太好,丙酮超声就掉

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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)


5楼2019-12-12 15:41:44
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vinsonone

木虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
Ti层稍微溅射厚一点就不怕了

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11楼2019-12-12 16:37:10
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百无二用

新虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
Liftoff时超声吗,超声调小一点就行了

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12楼2019-12-12 22:15:18
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bobo201266

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
设备真空抽高一点再做,做Ti前用Ar气 RF处理下表面。进设备前清洗干净一点。

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13楼2019-12-14 15:54:34
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衬底是什么?两个一起掉还是分开掉?溅射一层后出腔室吗?
14楼2019-12-21 17:53:37
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198801132楼
2019-12-12 15:39   回复  
ws4231153(金币+1): 谢谢参与
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vincentwz4楼
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先僧6楼
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