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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射Pt Ti薄膜附着力差
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ws4231153

新虫 (小有名气)
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磁控溅射Pt Ti薄膜附着力差
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如题，请问如何增加这两个薄膜的附着力，想用来做底电极，却附着力总是很差，有什么参数可以调吗？功率，温度，压强上面，目前做过50w 200度加热的效果不太好，丙酮超声就掉

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1楼 2019-12-12 15:36:04
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
先镀ti再镀pt

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5楼2019-12-12 15:41:44
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vinsonone

木虫 (正式写手)
★
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Ti层稍微溅射厚一点就不怕了

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11楼2019-12-12 16:37:10
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百无二用

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
Liftoff时超声吗，超声调小一点就行了

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12楼2019-12-12 22:15:18
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bobo201266

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
设备真空抽高一点再做，做Ti前用Ar气 RF处理下表面。进设备前清洗干净一点。

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13楼2019-12-14 15:54:34
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
衬底是什么？两个一起掉还是分开掉？溅射一层后出腔室吗？
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14楼2019-12-21 17:53:37
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198801132楼
2019-12-12 15:39   回复  
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泡芙小小3楼
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vincentwz4楼
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先僧6楼
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seuhenwuyu7楼
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秋土豆香8楼
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给你的温柔9楼
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雾中纸钻10楼
2019-12-12 16:10   回复  
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