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分子泵各种故障原因及解决方法
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1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？ 原因：附近有光照或其他热源 解决方法：避免光照或热源 2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？ 原因：冷却不良，负载太大 解决方法：检查冷却系统，检查真空系统 3、分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不够 解决方法：检查系统 4、分子泵轴承为什么会烧毁 原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘 解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘 5、有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？ 原因：防护网破裂，前级管道破裂 解决方法：优化系统设计 6、真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池破裂或密封不良 解决方法：检查油池 7、正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形 原因：过热，负载大 解决措施：检查冷却系，检查系统 8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？ 原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。 解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。 9、胶圈口分子泵要用多少卡钳，使用才安全？ 答：不作特殊限定，至少3个，按照法兰大小可选3、6、12、24等 10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？ 答：①电压不稳②强干扰③高压打火④认为解密 11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？ 答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要专用仪器和特定的测试环境 12、分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？ 答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。 13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是最佳方式？ 答：电源本身有接地线，只需要保证市网有良好接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。 14、变频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“Poff”？ 答：原因：电压低 15、分子泵叶片破碎的原因： 答：造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点： ①、误操作;比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。 ②、是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。 ③、电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。 ④、前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。 ⑤、、分子泵保养时的动平衡没有做好，这是技术的关键，动平衡差，振动就大，抽气效率就差，也容易造成轴承部分的过度磨损。 ⑥、轴承部分没有使用原厂的标准轴承，效果和尺寸不标准等。 |
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