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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射
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1576594511

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 已有1人参与

用分子泵抽真空时前一次做，一切正常，接着继续做第二组的时候再抽背景压强时降的很快一下就到了0.0*.10^-5，有人知道是什么原因吗？？急急急

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1楼 2019-12-07 21:31:06
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黑狐1992

木虫 (小有名气)
第二次和第一次间隔较短，腔室内吸附的气体或水减少，易形成高真空

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5楼2019-12-08 11:42:23
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1576594511

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by vincentwz at 2019-12-07 22:51:26
真空计有问题吧

不清楚，第一组还正常，第二组就出了这样的问题

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9楼2019-12-08 14:57:31
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普通回帖

vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
真空计有问题吧

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2楼2019-12-07 22:51:26
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yhy1994

银虫 (正式写手)
正常

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3楼2019-12-08 10:41:50
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bobo201266

金虫 (正式写手)
正常

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4楼2019-12-08 11:35:06
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1576594511

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yhy1994 at 2019-12-08 10:41:50
正常

为什么会正常，从来没出现过，特别快，不到一分钟就成了0*10^-5

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6楼2019-12-08 14:55:21
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1576594511

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 黑狐1992 at 2019-12-08 11:42:23
第二次和第一次间隔较短，腔室内吸附的气体或水减少，易形成高真空

中间间隔很长，以前从没出现过

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7楼2019-12-08 14:55:36
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1576594511

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-12-08 11:35:06
正常

特别快大概就一分钟，而且平常只是9.7*10^-4

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8楼2019-12-08 14:56:33
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
肯定不正常啊 抽到速度快是正常的，但是你都0*10*-5了 这都不是有效数字了
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10楼2019-12-09 12:43:33
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