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激光气体击穿/等离子体维持阈值计算
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对于微波CVD,100-200Torr的氢气甲烷混合气(甲烷占比4%可忽略),微波激发等离子体后,想用连续二氧化碳激光器诱导级联电离或者说维持等离子体存在,这个阈值怎么计算比较好?看了很多文献好多都是关于短脉冲激光对气体的击穿,关于连续激光在计算上有什么不同? 发自小木虫Android客户端 |
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