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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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ab4010800

新虫 (初入文坛)

[求助] (BaCa)(TiZr)O3薄膜量测不到介电.铁电已有1人参与

各位大神好
小弟有个疑问想请教一下，小弟利用sol-gel制作(BaCa)(TiZr)O3薄膜，厚度大概1um,

单独对材料分析XRD，该有的PEAK都有出来 ，

整体结构是 Pt(上电极)/(BaCa)(TiZr)O3(1um)/Pt(下电极200nm)/Ti(60nm)/Sio2(300nm)/Si

这样去量测介电和铁电完全量测不到，薄膜从做大概10次，依然量测不到

我比较怀疑是上电极问题，因为上电极是请人代工，品质和稳定性没下电极的好也不确定厚度，会是上电极的因素导致量测电性失败吗

还是有可能是其他因素呢??

谢谢各位

(BaCa)(TiZr)O3薄膜量测不到介电.铁电
XRD.JPG
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1楼2019-12-05 22:37:46
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吃橘子的?

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
1楼: Originally posted by ab4010800 at 2019-12-05 22:37:46
各位大神好
小弟有个疑问想请教一下，小弟利用sol-gel制作(BaCa)(TiZr)O3薄膜，厚度大概1um,

单独对材料分析XRD，该有的PEAK都有出来 ，

整体结构是 Pt(上电极)/(BaCa)(TiZr)O3(1um)/Pt(下电极200nm)/Ti(60n ...

兄弟，您好，我现在也遇到和您一样的问题了，测不出铁电性能，请问你这个问题解决了嘛

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2楼2022-10-03 23:10:10
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小白248

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
2楼: Originally posted by 吃橘子的? at 2022-10-03 23:10:10
兄弟，您好，我现在也遇到和您一样的问题了，测不出铁电性能，请问你这个问题解决了嘛
...

解决了吗，可以交流，加我q  1184976172
可以问您一些问题吗，有偿

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3楼2023-05-30 15:30:30
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