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w_拉格朗日

新虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射镀铜膜,没有膜厚检测仪。如何估算膜厚?

已知,直流溅射,功率为30w。怎么估算Cu膜厚?

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伊铮

铜虫 (正式写手)

您的问题解决了么?我也遇到类似问题
2楼2019-12-05 09:16:37
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w_拉格朗日

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 伊铮 at 2019-12-05 09:16:37
您的问题解决了么?我也遇到类似问题

没解决,买膜厚检测仪

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3楼2019-12-05 09:52:07
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