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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 磁控溅射中大的靶有什么优势 已有2人参与

大的靶除了均匀性更好,还有什么优势呢?

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野人禾禾

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
总沉积时间久,开腔次数少
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
2楼2019-12-04 14:23:24
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2019-12-04 14:23:24
总沉积时间久,开腔次数少

是的,靶材厚的话是可以用更久时间。
还有什么其他优势呢?
指大面积的靶材

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3楼2019-12-04 14:58:59
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13823359210

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
性能方面是等离子集中区域大,是可提高膜层性能的

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4楼2020-01-17 17:35:04
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