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CZTS太阳能电池窗口层AZO薄膜制备电阻大
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各位大神，目前在组装CZTS太阳能电池时磁控溅射制备AZO窗口层出现了问题。AZO电阻特别大，做了XRD结晶度差，未出现（002）峰取向。目前我用的真空镀膜设备真空度是1*10-3Pa（本底真空度），是我的真空度不高导致AZO结晶不好吗？求大神指教 |
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