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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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crazy大象.

新虫 (初入文坛)

[交流] 想把矩形石英做出0.1mm落差的台阶,请问如何做,精度多少? 已有2人参与

一块矩形石英,在其中间做一个0.1mm落差的槽,请问如何加工,落差精度能做到多少?

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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个可以干法或湿法刻蚀或者激光刻蚀,精度能应该能达到±3um

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2楼2019-11-24 21:57:17
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迪欧石英仪器

银虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
嗯,看公差要求,方法很多

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3楼2019-11-25 15:18:12
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