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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » 想把矩形石英做出0.1mm落差的台阶，请问如何做，精度多少？
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crazy大象.

新虫 (初入文坛)

[交流] 想把矩形石英做出0.1mm落差的台阶，请问如何做，精度多少？ 已有2人参与

一块矩形石英，在其中间做一个0.1mm落差的槽，请问如何加工，落差精度能做到多少？

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1楼 2019-11-24 13:11:15
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个可以干法或湿法刻蚀或者激光刻蚀，精度能应该能达到±3um

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2楼2019-11-24 21:57:17
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迪欧石英仪器

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
嗯，看公差要求，方法很多

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3楼2019-11-25 15:18:12
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