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梦如斯

新虫 (小有名气)

[交流] 镀二氧化钛薄膜技术

请问要在导电玻璃上镀二氧化钛,哪种方法技术比较好。我平时用的比较多的是匀胶法,感觉薄膜在SEM下看到有很多孔洞。

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bobo201266

金虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
梦如斯: 金币+8 2019-11-27 22:12:18
2楼2019-11-21 19:22:32
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光棍9527

新虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
梦如斯: 金币+9 2019-11-27 22:11:02
看镀多厚的薄膜了,如果是纳米级别,而且薄膜均匀性要求比较高,可以考虑ALD工艺

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3楼2019-11-22 08:38:17
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)


★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
梦如斯: 金币+8 2019-11-27 22:11:24
电子束蒸发可以

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4楼2019-11-27 17:38:59
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