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磁控溅射中,太阳能镀ITO,仅将高磁改为低磁,对镀膜有什么影响。
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丫头她家二哥
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虫号: 1917865
[交流]
磁控溅射中,太阳能镀ITO,仅将高磁改为低磁,对镀膜有什么影响。
最近在做实验,磁控溅射中,太阳能镀ITO,仅将高磁改为低磁,想从理论上分析这对镀膜速率、致密度及电性能的影响,有这方的伙伴可以交流吗?有这方面的文献推荐也可,谢谢!
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1楼
2019-11-07 14:11:21
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13823359210
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丫头她家二哥(金币+1): 谢谢参与
实验室的溅射源多大
发自小木虫Android客户端
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4楼
2019-11-12 08:03:47
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丫头她家二哥
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虫号: 1917865
引用回帖:
4楼
:
Originally posted by
13823359210
at 2019-11-12 08:03:47
实验室的溅射源多大
我们可以哪到合作产线上测试,最大功率可以达到20KW
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7楼
2019-11-21 16:45:12
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需要提供靶材么?
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8楼
2019-12-02 23:05:56
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