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[交流]
磁控溅射中，太阳能镀ITO，仅将高磁改为低磁，对镀膜有什么影响。
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| 最近在做实验，磁控溅射中，太阳能镀ITO，仅将高磁改为低磁，想从理论上分析这对镀膜速率、致密度及电性能的影响，有这方的伙伴可以交流吗？有这方面的文献推荐也可，谢谢！ |
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