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薄膜粗糙度
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专业: 力学
[
求助
]
薄膜粗糙度
已有3人参与
跪求大佬们,薄膜粗糙度分析需要用啥理论分析呢
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yswyx
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dut_ameng
@
wulishi8
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2019-10-24 00:00:05
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2019-10-24 10:44:10
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2019-10-24 19:44:14
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yswyx
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专业: 半导体微纳机电器件与系统
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【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
理论?
看你什么薄膜了。主要几点,首先看你衬底本身的粗糙度,要分析形貌特点,其次看成膜机制,分析各个因素对成膜粗糙度的影响,比如金属薄膜的晶粒形成机制。
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5楼
2019-10-26 17:12:43
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2019-10-28 11:12:47
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虫号: 6795698
注册: 2017-06-21
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
【答案】应助回帖
AFM测表面粗糙度呀
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7楼
2019-10-28 19:20:45
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