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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 真空管式炉可实现LiF蒸镀吗？
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vovovv012

新虫 (小有名气)

[求助] 真空管式炉可实现LiF蒸镀吗？ 已有3人参与

想做蒸镀，但没有蒸镀仪。现在实验室有一台可以高真空的，分段加热的管式炉。想在高温区放置LiF，低温区放基底材料，通过惰性气体把LiF带到基底材料上。这样可行吗?
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1楼 2019-10-17 17:00:36
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登弗真空

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

自主品牌登弗真空回复你,cvd可以用,但是蒸镀不行呀,真空不够,耙材在管式炉下的真空下,挥发不出小分子呀!
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7楼2020-02-17 18:15:20
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songcumt

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可行的，很多人都有类似的方法做沉积实验，控制好位置和气流量即可
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2楼2019-10-17 21:48:57
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vovovv012

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by songcumt at 2019-10-17 21:48:57
可行的，很多人都有类似的方法做沉积实验，控制好位置和气流量即可

谢谢大佬，想知道这样的话如何控制膜的厚度呢

发自小木虫Android客户端
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3楼2019-10-20 20:15:14
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songcumt

至尊木虫 (职业作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by vovovv012 at 2019-10-20 20:15:14
谢谢大佬，想知道这样的话如何控制膜的厚度呢
...

控制膜厚估计要你多次试验来找经验了，控制好温度和时间很关键
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4楼2019-10-20 20:35:31
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