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捣铃儿

新虫 (小有名气)

[求助] P2O5挥发问题 已有1人参与

P2O5在300℃左右挥发,激光温度1000度以上,想用激光进行磷掺杂,
涂上磷源溶液后激光掺杂,P2O5升华,无法掺杂,有啥办法可以保护P2O5不挥发的?在磷源溶液中加点啥可以不
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捣铃儿

新虫 (小有名气)

有没有从旋涂溶液角度入手的方法,因为磷源是旋涂上硅片的
4楼2019-10-22 08:36:32
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
捣铃儿: 金币+5, 有帮助, 嗯嗯,密封是个方法,有啥不密封的方法不 2019-10-22 08:33:22
用一个石英玻璃器皿密封,然后激光照射。
青出于蓝而胜于蓝
3楼2019-10-21 16:49:00
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