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金属半导体金属msm型肖特基型探测器
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| 它的电极必须在同一平面内吗？上中下垂直结构，可以吗？垂直结构时候电极不做成叉指式直接是镀一层金属膜作电极可以吗？我是光电小白想做msm结构的肖特基探测器，但是，我们组没有人有基础，所以我一个人看感觉很困难。现在遇到问题，就是最简单的结构问题，两个肖特基背靠背那种，我看到电极一般做成共面的，叉指的，当然也有其他的。也有垂直结构的，但是我不是特别清楚，比如做三层膜，Ag-TiO2－ITO这种，一共三层膜，把ito， Ag看成电极的话，先不考虑暗电流势垒什么的，这三层膜可以是一个探测器吗？我其实觉得可以，但是文献上电极没有这样设计的。 |
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