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金属半导体金属msm型肖特基型探测器
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| 它的电极必须在同一平面内吗?上中下垂直结构,可以吗?垂直结构时候电极不做成叉指式直接是镀一层金属膜作电极可以吗?我是光电小白想做msm结构的肖特基探测器,但是,我们组没有人有基础,所以我一个人看感觉很困难。现在遇到问题,就是最简单的结构问题,两个肖特基背靠背那种,我看到电极一般做成共面的,叉指的,当然也有其他的。也有垂直结构的,但是我不是特别清楚,比如做三层膜,Ag-TiO2-ITO这种,一共三层膜,把ito, Ag看成电极的话,先不考虑暗电流势垒什么的,这三层膜可以是一个探测器吗?我其实觉得可以,但是文献上电极没有这样设计的。 |
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