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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 想请教一下有关硅的刻蚀问题
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一岁就很乖

新虫 (正式写手)

[求助] 想请教一下有关硅的刻蚀问题 已有1人参与

在下有一层很薄的铌酸锂薄膜，大概5微米吧，沉积在单晶硅（100）面上（厚度大概350微米），现在我想把这个硅给去掉，想请教一下有没有什么方法能够把硅去除干净又不损伤铌酸锂。
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1楼 2019-10-08 09:08:21
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wgy0219

禁虫 (初入文坛)
supernatural: 屏蔽内容, 违规存档, 本版不允许宣传 2020-03-27 17:33:57
本帖内容被屏蔽
4楼2020-02-26 19:04:24
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
硅多厚？
你想要一个5u的薄膜完整的保存下来？它本身的强度够支撑这么大面积么？
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2楼2019-10-08 12:39:51
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lijiebnu

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
3楼2019-10-11 05:04:28
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babyoflion

金虫 (著名写手)
这是理想值，操作时肯定是先把硅片一起贴敷到一个基材上，然后再去除硅，要不然年纪大了很容易形变

发自小木虫Android客户端
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5楼2020-02-26 19:17:03
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